 |
Barek z płytką kwarcową wysokiej czystości i odporny na wysokie temperatury
Szczegóły Produktu:
| Miejsce pochodzenia: | Chiny |
| Nazwa handlowa: | ZMSH |
Zapłata:
| Minimalne zamówienie: | 1 |
|---|
|
Szczegóły informacji |
|||
| Czystość materiału: | SiO₂ ≥99,999% | Temperatura topnienia: | 1730 ° C (punkt zmiękczenia) |
|---|---|---|---|
| Pojemność maksymalnego wafla: | 25 Wafry (rozmiar standardowy) | Odporność na kwasy: | Odporne na kwasy siarkowe, azotowe, chlorowodorowe (z wyjątkiem HF) |
| Odporność na korozję: | 30 × wyżej niż ceramika, 150 x wyższa niż stal nierdzewna | Procesy kompatybilne: | Dyfuzja półprzewodników, wyżarzanie, fotowoltaiczne domieszkowanie, reakcje laboratoryjne |
| Podkreślić: | Łódź z płytkami kwarcowymi o wysokiej czystości,Wyposażone w płytki kwarcowe,Włóczęga z płytkami kwarcowymi odpornymi na wysokie temperatury |
||
opis produktu
Wprowadzenie produktu
Łódź płytkowa, znana również jako łódź lub nośnik, jest kluczowym narzędziem w produkcji półprzewodników do utrzymywania, przenoszenia i pozycjonowania płytek.Konstrukcja musi wytrzymać ekstremalne warunki, takie jak wysokie temperatury (> 1000°C), korozji chemicznej i rozładowania elektrostatycznego (ESD), aby zapewnić bezpieczeństwo płytek podczas różnych procesów.
Zasada
- Nie.Ustawienie i utrzymanie:
Otwory pozycjonowania na łodzi wyrównują się z szpilkami w kasety płytkowej, umożliwiając transfer partii bez ręcznej obsługi.
Dwuwarstwowe szczeliny (górne i dolne) zabezpieczają płytki podczas cyklu termicznego (np. grzania).
- Nie.Zarządzanie stresem termicznym:
Materiał o niskiej rozciągłości termicznej (0,5×10−6/°C) minimalizuje warpage w warunkach wahania temperatury.
Struktura pączków równomiernie rozkłada napięcie cieplne.
Kompatybilność procesów:
Geometria gniazd (np. typu I, typu V) umożliwiają zastosowanie różnych grubości płytek (300-800 μm) przy jednoczesnym zapewnieniu przepływu reaktanta w fazie gazowej.
Diamentowy przekrój umożliwia dwukierunkowe ładowanie robotyczne, zwiększając przepustowość.
Bezpieczeństwo i ochrona:
Składniki buforowe (pręty, gumowe podkładki) absorbują wstrząsy mechaniczne podczas umieszczania płytki.
Oczyszczanie azotem usuwa pozostałości, zapobiegając zanieczyszczeniu
Charakterystyka
Spucone szkło krzemianowe to specjalistyczne szkło przemysłowe wykonane z dwutlenku krzemu (SiO2).
- - Nie.Odporność na wysokie temperatury:
Punkt zmiękczenia: ~1730°C.
Działa nieprzerwanie w temperaturze 1100-1250°C i wytrzymuje krótkoterminowe narażenie do 1450°C.
- - Nie.Chemiczna obojętność:
Odporny na większość kwasów (z wyjątkiem kwasu fluorowodoru).
Odporność na korozję jest 30 razy wyższa od ceramiki i 150 razy wyższa od stali nierdzewnej.
Utrzymuje stabilność w ekstremalnych warunkach termicznych, przewyższając inne materiały.
- Stabilność termiczna:
Niezwykle niski współczynnik rozszerzenia termicznego (~ 5,5 × 10−7/°C).
Przeżywa wstrząsy cieplne (np. podgrzewanie do 1100°C i ugaszanie w wodzie).
- - Nie.Przejrzystość optyczna:
Szeroka transmisja widmowa od ultrafioletu (UV) do podczerwieni (IR).
Przepuszczalność światła widzialnego: > 95%.
Przepuszczalność UV osiąga szczyt > 85% w zakresie 185-250 nm.
- - Nie.Izolacja elektryczna
Odporność jest 10 000 razy wyższa niż zwykłe szkło.
Doskonałe właściwości dielektryczne nawet w wysokich temperaturach.
Wnioski
Elektrownia fotowoltaiczna:Termalna obróbka płytek krzemowych i doping.
Badania i rozwój:Laboratoryjne reaktory wysokotemperaturowe i badania materiałów