Barek z płytką kwarcową wysokiej czystości i odporny na wysokie temperatury

Wprowadzenie produktu

Łódź płytkowa, znana również jako łódź lub nośnik, jest kluczowym narzędziem w produkcji półprzewodników do utrzymywania, przenoszenia i pozycjonowania płytek.Konstrukcja musi wytrzymać ekstremalne warunki, takie jak wysokie temperatury (> 1000°C), korozji chemicznej i rozładowania elektrostatycznego (ESD), aby zapewnić bezpieczeństwo płytek podczas różnych procesów.

Zasada

- Nie.Ustawienie i utrzymanie:
Otwory pozycjonowania na łodzi wyrównują się z szpilkami w kasety płytkowej, umożliwiając transfer partii bez ręcznej obsługi.
Dwuwarstwowe szczeliny (górne i dolne) zabezpieczają płytki podczas cyklu termicznego (np. grzania).

- Nie.Zarządzanie stresem termicznym:
Materiał o niskiej rozciągłości termicznej (0,5×10−6/°C) minimalizuje warpage w warunkach wahania temperatury.
Struktura pączków równomiernie rozkłada napięcie cieplne.

Kompatybilność procesów:
Geometria gniazd (np. typu I, typu V) umożliwiają zastosowanie różnych grubości płytek (300-800 μm) przy jednoczesnym zapewnieniu przepływu reaktanta w fazie gazowej.
Diamentowy przekrój umożliwia dwukierunkowe ładowanie robotyczne, zwiększając przepustowość.

Bezpieczeństwo i ochrona:
Składniki buforowe (pręty, gumowe podkładki) absorbują wstrząsy mechaniczne podczas umieszczania płytki.
Oczyszczanie azotem usuwa pozostałości, zapobiegając zanieczyszczeniu

Charakterystyka

Spucone szkło krzemianowe to specjalistyczne szkło przemysłowe wykonane z dwutlenku krzemu (SiO2).

• - Nie.Odporność na wysokie temperatury:

Punkt zmiękczenia: ~1730°C.
Działa nieprzerwanie w temperaturze 1100-1250°C i wytrzymuje krótkoterminowe narażenie do 1450°C.

• - Nie.Chemiczna obojętność:

Odporny na większość kwasów (z wyjątkiem kwasu fluorowodoru).
Odporność na korozję jest 30 razy wyższa od ceramiki i 150 razy wyższa od stali nierdzewnej.
Utrzymuje stabilność w ekstremalnych warunkach termicznych, przewyższając inne materiały.

• Stabilność termiczna:

Niezwykle niski współczynnik rozszerzenia termicznego (~ 5,5 × 10−7/°C).
Przeżywa wstrząsy cieplne (np. podgrzewanie do 1100°C i ugaszanie w wodzie).

• - Nie.Przejrzystość optyczna:

Szeroka transmisja widmowa od ultrafioletu (UV) do podczerwieni (IR).
Przepuszczalność światła widzialnego: > 95%.
Przepuszczalność UV osiąga szczyt > 85% w zakresie 185-250 nm.

• - Nie.Izolacja elektryczna

Odporność jest 10 000 razy wyższa niż zwykłe szkło.
Doskonałe właściwości dielektryczne nawet w wysokich temperaturach.

Wnioski