Krótki: Obejrzyj to omówienie, aby dowiedzieć się, dlaczego wielu profesjonalistów zwraca uwagę na tace z węglika krzemu (SiC) o wysokiej czystości CVD/SSiC do obróbki wafli półprzewodnikowych. Dowiedz się o ich wyjątkowej wytrzymałości mechanicznej, stabilności termicznej i precyzji wymiarowej, zaprojektowanych do wymagających zastosowań przemysłowych.
Powiązane cechy produktu:
Zaprojektowany z wielostrefowymi pierścieniowymi szczelinami w celu redukcji masy i optymalizacji przepływu ciepła.
Zawiera wzmocnioną sieć żeber radialnych dla zwiększonej wytrzymałości mechanicznej i stabilności obrotowej.
Precyzyjnie obrobiona powierzchnia zapewnia płaskość i jednolitość grubości w zastosowaniach półprzewodnikowych.
Scentralizowany interfejs montażowy umożliwia bezpieczną instalację na obracających się wałach i w zautomatyzowanych systemach.
Wzmocnienie strukturalne na pierścieniu zewnętrznym zwiększa odporność na wibracje i stabilność obciążenia obwodowego.
Dostępne w wielu wysokowydajnych materiałach, w tym SSiC, RBSiC, ceramice glinowej i metalach o wysokiej wytrzymałości.
Idealny do produkcji półprzewodników, produkcji LED, przetwarzania zaawansowanych materiałów i precyzyjnych maszyn.
Oferuje efektywność termiczną, trwałość konstrukcyjną, stabilność procesu i możliwość dostosowania do różnych potrzeb przemysłowych.
Pytania i odpowiedzi:
Co to jest ceramiczna taca SiC?
Ceramiczna taca SiC to precyzyjny nośnik wykonany z wysokiej czystości węglika krzemu, przeznaczony do podtrzymywania, ładowania i transportu płytek lub podłoży podczas produkcji półprzewodników, diod LED, optyki i procesów próżniowych. Oferuje wyjątkową stabilność termiczną, wytrzymałość mechaniczną i odporność na deformacje w trudnych warunkach.
Jakie są zalety stosowania tacek SiC w porównaniu z tackami kwarcowymi, grafitowymi lub aluminiowymi?
Tace SiC zapewniają doskonałe korzyści wydajnościowe, w tym odporność na wysokie temperatury do 1600-1800°C, doskonałą przewodność cieplną, wyjątkową wytrzymałość mechaniczną, niską rozszerzalność cieplną, wysoką odporność na korozję i dłuższą żywotność w warunkach ciągłej produkcji pod dużym obciążeniem.
Do jakich zastosowań głównie wykorzystywane są ceramiczne tace SiC?
Tace SiC są szeroko stosowane w obsłudze wafli półprzewodnikowych, procesach LPCVD, PECVD, MOCVD, obróbce termicznej, wyżarzaniu, dyfuzji, utlenianiu i epitaksji, ładowaniu wafli szafirowych/podłoży optycznych, w środowiskach wysokiej próżni i wysokiej temperatury oraz w precyzyjnych platformach mocujących do CMP lub polerowania.