Szczegóły bloga

Ceramiczne ramiona robotyczne do obróbki płytek w przemyśle półprzewodnikowym

Produkty półprzewodnikowe wymagają wyjątkowo czystego środowiska produkcyjnego, aby zapewnić zerowe zanieczyszczenie.gdzie pracownicy noszą odzież antystatyczną w celu zapobiegania wyładowaniu cząstek stałych i elektrostatycznych.

Półprzewodniki są niezwykle delikatne. Niektóre płytki są bardzo cienkie, mierzą tylko ułamki milimetra lub nawet cieńsze.oświetlenieNarzędzia te nie mogą zanieczyszczać płytek, a także muszą być odporne na działanie kwasów, kwasów alkalicznych,i obróbki termicznej, zapewniając długoterminową trwałość.

Wprowadzenie do ceramicznych broni robotycznych do użytku w półprzewodnikach

Wybór materiału:
Większość półprzewodnikowych ramion robotycznych jest wykonana z99% aluminiowej ceramiki.

Właściwości ceramiki aluminowej:
Ceramika aluminowa, ceramika konstrukcyjna, ma twardość drugą tylko po diamentie i znacznie przewyższa stal i chromowaną stal pod względem odporności na zużycie.Oferuje tolerancję wysokiej temperatury (do 1600 °C), doskonałą odporność na zużycie i korozję, niskie tarcie i lekką konstrukcję, co czyni go idealnym dla zastosowań półprzewodnikowych.

Nazwa i funkcja:
Te ręce robotyczne z ceramiki aluminowej, znane również jakoWyroby z tworzyw sztucznychlubEfektory końcowe do przenoszenia płytek, są komponentami montowanymi na robotach obsługujących płytki.Ponieważ są one w bezpośrednim kontakcie z płytkami, ich lekka natura pomaga zmniejszyć obciążenie sprzętu robotycznego, wydłużając jego żywotność.

Rodzaje ceramicznych ramion robotycznych:

• Rodzaj zacisku

• Rodzaj wsparcia

• Rodzaj wysysacza próżniowego

• Typ Bernoulli'ego

Proces produkcji ceramicznych broni robotycznych

1. Przygotowanie proszku:Wysokiej czystości proszek glinu aluminowego poddawany jest granulacji wtryskowej w celu utworzenia granulatów kulistych.

2. Wzornictwo:Granulki są suszone w suchym tłoczeniu w celu utworzenia zielonego ciała, które następnie kształtuje się przy użyciu zimnego tłoczenia izostatycznego.

3. Gęstość:Ukształcone ciało jest spiekane w wysokich temperaturach, usuwając pustki między cząstkami i tworząc gęste ciało ceramiczne.

4. Szlifowanie i obróbka powierzchni:Obrotowe szlifierki usuwają tlenki i zanieczyszczenia powierzchni.

5. Obróbka precyzyjna:Szlifowanie powierzchni wewnętrznej i zewnętrznej dodatkowo usprawnia element.

Struktura i funkcjonalność

Ramię ceramiczne zawiera:kanały powietrza i szczeliny wentylacyjnePo zastosowaniu próżni powstaje odciągacz, który łagodnie chwyta części półprzewodnikowe, unikając naprężenia mechanicznego, zadrapań lub rozdrobnienia cienkich płytek.

Zalety broni ceramicznej nad bronią metalową

1. Wyższa odporność na korozję:Ramiona ceramiczne wytrzymują zarówno kwasowe, jak i alkaliczne środowiska lepiej niż ramiona metalowe, oferując dłuższą żywotność podczas przetwarzania półprzewodników.

2. Nie zanieczyszczające:Ceramika nie reaguje z innymi substancjami, nie pozostawia drobnych cząstek, nie niesie pozostałego ładunku statycznego i nie uwalnia jonów metalowych, co zapewnia, że płytki pozostają nieskażone.

3. Minimalna deformacja cieplna:Podczas obróbki termicznej ramiona ceramiczne zachowują swój kształt lepiej niż metali, zmniejszając deformację delikatnych komponentów półprzewodnikowych.

Szersze zastosowania materiałów ceramicznych

Oprócz obróbki płytek ramiona robotyczne, ceramikaizolacja, odporność na wysokie temperatury, odporność na kwasy i alkalie oraz stabilność chemiczna uczynić je idealnymi do produkcji innych składników krytycznych stosowanych w trudnych warunkach, mogą być wykorzystywane w sytuacjach, w których metale i tworzywa sztuczne ulegają awarii,zapewnienie wydajności i czystości w wymagających procesach półprzewodnikowych.