Sapphire lift pin dla półprzewodników Ceramic lift pins High purity sapphire pins

Sapphire lift pin dla półprzewodników Ceramic lift pins High purity sapphire pins

Streszczenie Sapphire

Sapphire lift pins to precyzyjnie zaprojektowane elementy szeroko stosowane w

urządzenia do przetwarzania półprzewodników, w szczególności w obsłudze płytek, epitaksyalnesystemy wzrostu i osadzenia, takie jak MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition), PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) i inne wysokotemperaturowe, próżniowe,lub środowiskach żrącychWykonane z jednokrystalicznego tlenku aluminium (Al2O3), znany również jako syntetyczny szafir, te szpilki podnośne są cenione ze względu na ich wyjątkową twardość, stabilność termiczną, odporność chemicznąi trwałość.

Właściwości szpilki podnoszącej Sapphire

Sapphire podnośniki są często specjalnie zaprojektowane

Zalety szpilki z safirem

a.Odporność na wysokie temperatury

Sapphire utrzymuje swoją wytrzymałość mechaniczną w temperaturach przekraczających 1500 ° C, co sprawia, że jest odpowiedni do reaktorów epitaksyjnych i komór osadów, w których inne materiały mogą się wypaczać, utleniać lub rozkładać.

b. Stabilność chemiczna

Sapfir jest chemicznie obojętny w reakcyjnych i korozyjnych gazach, takich jak H2, NH3 i HF, zapewniając długotrwałe działanie w środowiskach CVD i etsujących.

c. Niezwykła twardość

Wysoka twardość powierzchni jest odporna na zużycie i zadrapanie w wyniku kontaktu płytki i działania mechanicznego.

d. Dokładność wymiarowa

Sapphire może być obrobiony do ciasnych tolerancji (± 1 μm), zapewniając stałą wysokość podnoszenia płytki, dokładność pozycjonowania i niezawodność wyrównania.

e.Niski poziom wytwarzania cząstek

W przeciwieństwie do powlekanej ceramiki lub metali, które mogą pękać lub wydzielać gaz w trakcie cyklu termicznego, szafir nie wytwarza cząstek, co jest krytyczne dla czystych pomieszczeń i środowisk ultraczystego procesu.

f.Długa żywotność

Odporność na zużycie i stabilność szafirów w ekstremalnych warunkach przyczyniają się do niższej częstotliwości konserwacji i dłuższego czasu pracy sprzętu.

Fizyczny obraz żwiru dźwigni

Zastosowanie szpilów podnośnych z safira

Sapphire lift pins są stosowane w szeregu półprzewodników i zaawansowanych procesów materiałowych, w których płytki muszą być precyzyjnie obsługiwane podczas produkcji.

a. Systemy MOCVD

• Wzrost półprzewodników związkowych opartych na GaN, GaAs i InP

• Produkcja diod LED i diod laserowych

• Płytki i podłoża gotowe do stosowania w epinefrynie

b.Reaktory PECVD i LPCVD

• Przeniesienie płytki podczas osadzenia cienkich folii na bazie plazmy

• Stosowane w mikroelektroniki, ogniwach słonecznych, MEMS i fotoniki

c.Piece do obróbki cieplnej

• Wykorzystanie metali lub metali innych niż metali lub metali innych niż metali

d.Inspekcja i obsługa płytek

• Systemy mechaniczne, które tymczasowo podtrzymują lub manipulują płytkami

e.Komory do grafowania i czyszczenia

• W przypadku gdy odporność chemiczna jest kluczowa podczas wstępnego czyszczenia lub odrywania płytki

Pytania i odpowiedzi

P: Jakie kluczowe czynniki należy wziąć pod uwagę przy zakupie szpilki szafirowej?

A:Scenariusz zastosowania

• Warunki materialne: Określ warunki środowiskowe, na które będą narażone szpilki podnośne, takie jak wysokie temperatury lub środowiska korozyjne.
• Celem: Wybierz odpowiedni projekt w oparciu o konkretne zastosowanie (np. pomiary spektroskopowe, instrumenty precyzyjne itp.).

Wymiary i specyfikacje

• Średnica i długość: Wybierz odpowiednią średnicę i długość w zależności od wielkości podnoszonych lub podnoszonych próbek.
• Wymogi dotyczące tolerancji: Aby utrzymać dokładność, upewnij się, że szpilki podnoszące spełniają wymagania tolerancji wymiarowych zastosowania.

Powiązane zalecenia dotyczące produktów

Włókiennicze