SiC jednokrystaliczny pieczar do wzrostu dla kryształów 6, 8 cali przy użyciu metod PVT, Lely, TSSG
Szczegóły Produktu:
Miejsce pochodzenia: | Chiny |
Nazwa handlowa: | ZMSH |
Zapłata:
Minimalne zamówienie: | 1 |
---|---|
Czas dostawy: | 6- 8 ćmy |
Zasady płatności: | T/T |
Możliwość Supply: | 5 zestawów/miesiąc |
Szczegóły informacji |
|||
Heating Method: | Graphite Resistance Heating | Moc wejściowa: | Trójfazowy, pięciokierowy AC 380 V ± 10% 50 Hz ~ 60 Hz |
---|---|---|---|
Maksymalna temperatura ogrzewania: | 2300 ° C. | Znamionowa moc grzewcza: | 80KW |
Zakres mocy grzejnika: | 35 kW ~ 40 kW | Zużycie energii na cykl: | 3500 kW · H ~ 4500 kW · h |
Crystal Growth Cycle: | 5D ~ 7D | Główny rozmiar maszyny: | 2150 mm x 1600 mm x 2850 mm (długość x szerokość x wysokość) |
Podkreślić: | 8-calowy pieczar do wzrostu ingotów SiC,6-calowy pieczar SiC Ingot Growth,Piece do wzrostu ingotów PVT SiC |
opis produktu
Wysokiej wydajności pieczarnia do wzrostu ingotów SiC do kryształów o długości 4, 6 i 8 cali przy użyciu metod PVT, Lely i TSSG
Podsumowanie pieca do wzrostu ingotów SiC
Piekarnik SiC Ingot Growth wykorzystuje ogrzewanie grafitowe w celu skutecznego wzrostu kryształu węglika krzemu.Piece zużywają od 3500 kW·h do 4500 kW·h na cyklMa wymiary 2150 mm x 1600 mm x 2850 mm i przepływ wody chłodzącej wynosi 6m3/h.Praca w środowisku próżniowym z gazem argonowym i azotowym, ten piec zapewnia produkcję wysokiej jakości ingotów SiC o stałej wydajności i niezawodnej mocy.
Zdjęcie pieca SiC Ingot Growth
Specjalny typ kryształu naszego pieca do rozwoju ingotów SiC
SiC ma ponad 250 struktur krystalicznych, ale tylko typ 4HC może być stosowany do urządzeń zasilania SiC.ZMSH wielokrotnie wspierał klientów w hodowli tego konkretnego typu kryształów przy użyciu własnego pieca..
Nasz piec do rozwoju ingotów SiC został zaprojektowany do wysokowydajnego wzrostu kryształu węglika krzemu (SiC), zdolnego do przetwarzania płytek SiC o średnicy 4, 6 i 8 cali.Wykorzystując zaawansowane techniki takie jak PVT (Physical Vapor Transport), Lely, TSSG (Temperatura Gradient Method), i LPE (Liquid Phase Epitaxy), nasz piec wspiera wysokie tempo wzrostu przy jednoczesnym zapewnieniu optymalnej jakości kryształu.
Piekarnik jest zaprojektowany do hodowli różnych struktur krystalicznych SiC, w tym przewodzących 4H, półizolujących 4H i innych typów kryształów, takich jak 6H, 2H i 3C.Te struktury mają kluczowe znaczenie dla produkcji urządzeń SiC i półprzewodników, które są niezbędne do zastosowań w elektrotechnice mocy, systemach energooszczędnych i urządzeniach wysokonapięciowych.
Nasz piec SiC zapewnia precyzyjną kontrolę temperatury i jednolite warunki wzrostu kryształu, umożliwiając produkcję wysokiej jakości ingotów i płytek SiC do zaawansowanych zastosowań półprzewodnikowych.
Zalety naszego pieca SiC Ingot Growth
1Unikalna konstrukcja pola termicznego
Wynika to z niemal płaskiego interfejsu rozwoju kryształu, w którym wraz z rozmieszczeniem węzłów węzłów, włączając w to układy do układu węzłów.maksymalne wykorzystanie grubości kryształu.
Zwiększona wydajność surowca: Pole cieplne jest równomiernie rozmieszczone w całym systemie, zapewniając bardziej spójną temperaturę w surowcu.To znacząco zwiększa wykorzystanie proszkuZmniejszenie odpadów materiałowych.
Niezależność pomiędzy temperaturami osiowymi i promieniowymi umożliwia precyzyjną kontrolę obu gradientów, co jest kluczowe dla radzenia sobie ze stresem kryształowym i minimalizowania gęstości zwichnięć.
2. Wysoka precyzja sterowania
Piekarnik SiC Ingot Growth Furnace jest starannie zaprojektowany do produkcji wysokiej jakości kryształów SiC, które są niezbędne w szerokim zakresie zastosowań półprzewodnikowych, takich jak elektronika mocy,optoelektronikaSiC jest kluczowym materiałem w produkcji komponentów wymagających doskonałej przewodności cieplnej, wydajności elektrycznej i długotrwałej trwałości.Nasz piec posiada zaawansowane systemy sterowania zaprojektowane w celu utrzymania stałej wydajności i doskonałej jakości kryształu przez cały proces wzrostu.
Piekarnik SiC Ingot Growth zapewnia wyjątkową dokładność, z dokładnością zasilania 0,0005%, dokładnością regulacji przepływu gazu ±0,05 L/h, dokładnością regulacji temperatury ±0,5°C,i stabilność ciśnienia komory ±10 PaTe precyzyjnie dostosowane parametry zapewniają stabilne, jednorodne środowisko do wzrostu kryształu, co jest kluczowe dla produkcji barwników i płytek SiC o wysokiej czystości z minimalnymi wadami.
Kluczowe elementy pieca SiC Ingot Growth, w tym zawór proporcjonalny, pompa mechaniczna, komora próżniowa, miernik przepływu gazu i pompa molekularna,funkcjonować razem bezproblemowo w celu zapewnienia niezawodnej pracyWykorzystanie tych funkcji pozwala piecowi wytwarzać kryształy SiC spełniające rygorystyczne wymagania przemysłu półprzewodnikowego.
Technologia ZMSH® wykorzystuje najnowocześniejsze techniki wzrostu kryształu, zapewniając najwyższą jakość w produkcji kryształów SiC.Nasze urządzenia są zoptymalizowane do obsługi takich gałęzi przemysłu jak elektronika mocy., odnawialnych źródeł energii i zaawansowanych technologii, które napędzają postępy w zakresie energooszczędnych rozwiązań i zrównoważonych innowacji.
3. Automatyczne działanie
AUmatyczna odpowiedź:Monitorowanie sygnału, sprzężenie zwrotne sygnału
- Nie.Automatyczny alarm:Ostrzeżenie o przekroczeniu granicy, bezpieczeństwo dynamiczne
Automatyczne sterowanie:Monitoring i przechowywanie parametrów produkcji, zdalny dostęp i sterowanie w czasie rzeczywistym.
Aktywny Prompt:System ekspercki, interakcja człowiek-maszyna
Piekarnik SiC ZMSH posiada zaawansowaną automatyzację zapewniającą optymalną wydajność operacyjną.i sterowanie parametrami w czasie rzeczywistym z możliwościami zdalnego monitorowaniaSystem zapewnia również proaktywne powiadomienia w celu uzyskania pomocy ekspertów i umożliwia płynną interakcję między operatorem a maszyną.
Funkcje te minimalizują interwencję człowieka, poprawiają kontrolę procesu i zapewniają spójną produkcję wysokiej jakości ingotów SiC, promując wydajność w dużych operacjach produkcyjnych.
Nasz SiC Ingot Growth Furnace's data sheet
6-calowy piec | 8-calowy piec | ||
Projekt | Parametry | Projekt | Parametry |
Metoda podgrzewania | Ogrzewanie w oparciu o odporność na grafit | Metoda podgrzewania | Ogrzewanie w oparciu o odporność na grafit |
Moc wejściowa | Trójfazowe, pięciodrukowe prądy przenośne 380V ± 10% 50Hz~60Hz | Moc wejściowa | Trójfazowe, pięciodrukowe prądy przenośne 380V ± 10% 50Hz~60Hz |
Maksymalna temperatura ogrzewania | 2300°C | Maksymalna temperatura ogrzewania | 2300°C |
Pojemność ogrzewania | 80 kW | Pojemność ogrzewania | 80 kW |
Zakres mocy grzejnika | 35 kW ~ 40 kW | Zakres mocy grzejnika | 35 kW ~ 40 kW |
Zużycie energii na cykl | 3500 kW·h ~ 4500 kW·h | Zużycie energii na cykl | 3500 kW·h ~ 4500 kW·h |
Cykl wzrostu kryształu | 5D ~ 7D | Cykl wzrostu kryształu | 5D ~ 7D |
Główny rozmiar maszyny | 2150 mm x 1600 mm x 2850 mm (długość x szerokość x wysokość) | Główny rozmiar maszyny | 2150 mm x 1600 mm x 2850 mm (długość x szerokość x wysokość) |
Główna waga maszyny | ≈ 2000 kg | Główna waga maszyny | ≈ 2000 kg |
Przepływ wody chłodzącej | 6 m3/h | Przepływ wody chłodzącej | 6 m3/h |
Granica próżni w piecu chłodnym | 5 × 10−4 Pa | Granica próżni w piecu chłodnym | 5 × 10−4 Pa |
Atmosfera pieca | Argon (5N), azot (5N) | Atmosfera pieca | Argon (5N), azot (5N) |
Surowce | Cząsteczki węglowodorów krzemowych | Surowce | Cząsteczki węglowodorów krzemowych |
Rodzaj kryształu produktu | 4H | Rodzaj kryształu produktu | 4H |
Grubość kryształu produktu | 18 mm ~ 30 mm | Grubość kryształu produktu | ≥ 15 mm |
Efektywna średnica kryształu | ≥ 150 mm | Efektywna średnica kryształu | ≥ 200 mm |
Nasza usługa
Dostosowane rozwiązania z jednego przystanku
Zapewniamy dostosowane rozwiązania pieców z węglanu krzemowego (SiC), w tym technologie PVT, Lely i TSSG / LPE, dostosowane do spełnienia konkretnych potrzeb.Zapewniamy, że nasze systemy są zgodne z Twoimi celami produkcji.
Szkolenie klientów
Oferujemy kompleksowe szkolenia, aby zapewnić, że Twój zespół w pełni rozumie, jak obsługiwać i utrzymywać nasze piece.
Instalacja na miejscu i uruchomienie
Nasz zespół osobiście instaluje i uruchamia piece SiC w Twojej lokalizacji.
Wsparcie po sprzedaży
Nasz zespół jest gotowy pomóc w naprawach i rozwiązywaniu problemów na miejscu, aby zminimalizować przestoj i utrzymać płynne działanie urządzeń.
Jesteśmy oddani oferowaniu wysokiej jakości pieców i ciągłego wsparcia, aby zapewnić sukces w rozwoju kryształów SiC.