Wprowadzenie do ceramicznego ramienia widełkowego SiC

Systemy przenoszenia wafli, znane również jako ceramiczny efektor końcowy, to wysokowydajny komponent robota przeznaczony do ultra-czystego i precyzyjnego przenoszenia wafli w produkcji półprzewodników. Wykonany z zaawansowanej ceramiki węglika krzemu (SiC), ten efektor końcowy oferuje wyjątkową wytrzymałość mechaniczną, niską rozszerzalność cieplną i doskonałą odporność chemiczną — co czyni go idealnym do wymagających środowisk procesowych, takich jak komory próżniowe, strefy wysokich temperatur i atmosfery korozyjnych gazów.W przeciwieństwie do tradycyjnych metalowych lub kwarcowych efektorów końcowych, ceramiczne ramię widełkowe SiC zapewnia minimalne generowanie cząstek i zniekształcenia termiczne, oferując długoterminową niezawodność i precyzyjne wyrównanie do przenoszenia, pozycjonowania i operacji załadunku/rozładunku wafli.

Zasada produkcji 

ceramicznego ramienia widełkowego SiC Ceramika SiC oferuje doskonałą odporność termiczną, wytrzymałość mechaniczną i dłuższą żywotność w porównaniu do kwarcu lub materiałów metalowych, szczególnie w trudnych środowiskach plazmowych lub wysokotemperaturowych.

Systemy przenoszenia wafliwęglika krzemu wiązanego reakcyjnie (RB-SiC) lub beztłocznego spiekanego węglika krzemu (SSiC). Proces produkcji zazwyczaj obejmuje:Przetwarzanie proszku: Proszek SiC o wysokiej czystości jest mieszany ze spoiwami i dodatkami.

1. Formowanie: Użycie technik takich jak prasowanie izostatyczne na zimno (CIP) lub formowanie wtryskowe w celu kształtowania złożonych geometrii, w tym cienkich ramion widełkowych lub struktur z zębami.

2. Spiekanie: Obróbka cieplna w temperaturach powyżej 2000°C zapewnia wysoką gęstość, wytrzymałość i jednorodność mikrostrukturalną.

3. Precyzyjna obróbka: Szlifowanie CNC i polerowanie diamentowe są używane do uzyskania tolerancji wymiarowych do mikronów i ultra-płaskich powierzchni, minimalizując uszkodzenia wafli.

4. Kontrola końcowa: Badania nieniszczące (NDT), kontrole wymiarowe i testy chropowatości powierzchni zapewniają, że każdy ceramiczny efektor końcowy spełnia standardy klasy półprzewodnikowej.

5. Cały ten proces zapewnia, że efektor końcowy

zachowuje doskonałą sztywność, właściwości lekkie i niereaktywność w trudnych warunkach pracy.ceramicznego ramienia widełkowego SiCZastosowania 

ceramicznego ramienia widełkowego SiC

Ramię widełkowe / efektor końcowy z ceramiki SiC Ceramika SiC oferuje doskonałą odporność termiczną, wytrzymałość mechaniczną i dłuższą żywotność w porównaniu do kwarcu lub materiałów metalowych, szczególnie w trudnych środowiskach plazmowych lub wysokotemperaturowych.

Systemy przenoszenia wafli: Do obsługi wafli o średnicy od 6 do 12 cali podczas produkcji układów scalonych.Ramiona robota w komorach próżniowych

• : Do pick-and-place w procesach CVD, ALD i wytrawiania suchym.Porty załadunku FOUP/FOSB

• : Integracja z systemami robotycznymi do przenoszenia wafli między nośnikami i modułami procesowymi.Automatyzacja w pomieszczeniach czystych

• : W liniach produkcyjnych półprzewodników o dużej przepustowości, gdzie niezbędna jest ultra-czysta obsługa.Obróbka laserowa lub wyżarzanie

• : Gdzie odporność na wysoką temperaturę i brak zanieczyszczeń są krytyczne.Jego

• funkcja efektora końcowego zapewnia delikatne, a zarazem mocne chwytanie wafli półprzewodnikowych bez naprężeń mechanicznych i zanieczyszczeń.

Zalety ceramicznego ramienia widełkowego SiCWysoka czystość

: Doskonała odporność na zanieczyszczenia. Ceramika SiC oferuje doskonałą odporność termiczną, wytrzymałość mechaniczną i dłuższą żywotność w porównaniu do kwarcu lub materiałów metalowych, szczególnie w trudnych środowiskach plazmowych lub wysokotemperaturowych.

• : Utrzymuje sztywność i kształt podczas cykli termicznych.Niska rozszerzalność cieplna

• : Zapobiega deformacji termicznej, poprawiając wyrównanie wafli.Odporność chemiczna

• : Obojętny na korozyjne gazy i środowiska plazmowe.Wytrzymałość mechaniczna

• : Odporny na pękanie, odpryski i wypaczenia pod obciążeniem mechanicznym.Płaskość powierzchni

• : Ultra-gładkie powierzchnie styku zmniejszają ryzyko zarysowania wafli.Specyfikacje 

• ceramicznego ramienia widełkowego SiCGłówne specyfikacje powłoki CVD-SIC

Właściwości SiC-CVD Ceramika SiC oferuje doskonałą odporność termiczną, wytrzymałość mechaniczną i dłuższą żywotność w porównaniu do kwarcu lub materiałów metalowych, szczególnie w trudnych środowiskach plazmowych lub wysokotemperaturowych.

A1: Ceramika SiC oferuje doskonałą odporność termiczną, wytrzymałość mechaniczną i dłuższą żywotność w porównaniu do kwarcu lub materiałów metalowych, szczególnie w trudnych środowiskach plazmowych lub wysokotemperaturowych.

P2: Czy ceramiczne ramiona widełkowe można dostosować do mojego robota lub rozmiaru wafli?
A2: Tak. Oferujemy pełne dostosowanie geometrii ramienia widełkowego, wymiarów szczelin i interfejsów montażowych, aby dopasować je do systemu robota i specyfikacji wafli.

P3: Czy te efektory końcowe są bezpieczne do użytku w systemach próżniowych lub plazmowych?
A3: Absolutnie. Ceramika SiC jest w pełni kompatybilna ze środowiskami ultrawysokiej próżni (UHV), wytrawiania plazmowego i wytrawiania jonami reaktywnymi (RIE) ze względu na swoją obojętność chemiczną i niskie odgazowywanie.

P4: Jak trwała jest ceramiczne ramię widełkowe SiC podczas powtarzalnego użytkowania?
A4: Wysoka twardość i wytrzymałość SiC pozwalają mu wytrzymać powtarzalne cykle termiczne i obsługę mechaniczną bez degradacji, co czyni go idealnym do ciągłych środowisk produkcyjnych.

P5: Czy zapewniacie testowanie lub certyfikację dla każdego efektora końcowego?
A5: Tak, wszystkie produkty przechodzą rygorystyczną kontrolę wymiarową, testowanie płaskości i weryfikację materiałową. Na życzenie można dostarczyć certyfikaty zgodności (CoC) i raporty z badań.

Produkty powiązane
12-calowy wafelek SiC 300 mm Wafelek węglika krzemu Przewodzący klasy Dummy N-Type Klasa badawcza4H/6H P-Type Sic Wafer 4 cale 6 cali Z Grade P Grade D Grade Off Axis 2.0°-4.0° W kierunku domieszkowania P-type

O nas

ZMSH specjalizuje się w rozwoju zaawansowanych technologii, produkcji i sprzedaży specjalnego szkła optycznego i nowych materiałów krystalicznych. Nasze produkty służą elektronice optycznej, elektronice użytkowej i wojsku. Oferujemy komponenty optyczne ze szafiru, osłony obiektywów do telefonów komórkowych, ceramikę, LT, węglik krzemu SIC, kwarc i wafle kryształowe półprzewodników. Dzięki wykwalifikowanej wiedzy i najnowocześniejszemu sprzętowi, wyróżniamy się w przetwarzaniu niestandardowych produktów, dążąc do bycia wiodącym przedsiębiorstwem high-tech w zakresie materiałów optoelektronicznych.