Pojemnik ceramiczny z węglanu krzemu (SiC) do obróbki w wysokiej temperaturze

Przegląd

Płytki ceramiczne z węglanu krzemowego (SiC) są nośnikami o wysokiej wydajności, zaprojektowanymi do wymagających warunków termicznych, chemicznych i mechanicznych.i stabilność w podwyższonych temperaturach, tacy SiC stały się preferowanym rozwiązaniem do przetwarzania półprzewodników, produkcji diod LED, zaawansowanego spiekania materiałów i zastosowań termicznych o wysokiej czystości.Ich trwałość i charakterystyka niskiego zanieczyszczenia zapewniają stałą niezawodność procesu i długą żywotność.

Właściwości materialne

Keramika z węglem krzemowym zapewnia kombinację siły fizycznej i chemicznej, która przewyższa konwencjonalne tacki aluminiowe i kwarcowe:

• Odporność na wysokie temperatury:Stabilna wydajność powyżej 1600-1700 °C, odpowiednia do pieców o wysokiej temperaturze.

• Doskonała odporność na wstrząsy cieplne:Szybkie cykle ogrzewania i chłodzenia bez pęknięć.

• Wysoka twardość i odporność na zużycie:Przedłuża żywotność pod obciążeniem mechanicznym.

• Niska ekspansja termiczna (CTE):Zapewnia stabilność wymiarową podczas cyklu termicznego.

• Wysoka przewodność cieplna:Wspiera jednolite rozkład ciepła, poprawiając spalanie.

• Odporny na korozję i utlenianie:Znacznie zmniejsza ryzyko zanieczyszczenia.

• Niskie wydzielanie gazu:Odpowiedni do ultra-czyste procesy.

Proces produkcji

Taśmy ceramiczne SiC są zazwyczaj produkowane poprzezSintering bezciśnieniowy,wiązanie reakcyjne (RBSiC), lubDepozycja par chemicznych (CVD-SiC)w zależności od wymogów dotyczących czystości i właściwości:

• RBSiC (SiC związany reakcją):Wysoka wytrzymałość, doskonałe właściwości wstrząsowe, ekonomiczne.

• SSiC (Synterujący SiC):Wyższa czystość, większa gęstość, lepsza stabilność chemiczna, idealna dla półprzewodników.

• Powierzchnia CVD-SiCZapewnia niezwykle czyste, bezporne, odporne na korozję powierzchnie do zaawansowanych procesów płytkowych.

Każda trasa produkcyjna zapewnia wysoką jednolitość, precyzyjną kontrolę wymiarów i konfigurowalną geometrię.

Kluczowe zastosowania

Płytki ceramiczne SiC są szeroko stosowane w wielu gałęziach przemysłu:

Półprzewodniki i mikroelektronika

• Ładowanie płytek, przetwarzanie w wysokiej temperaturze, wsparcie LPCVD/PECVD

• Dyfuzja, utlenianie, szybkie procesy cieplne

• Platformy transportowe i nośne materiałów o wysokiej czystości

Produkcja LED i optoelektroniki

• Sintering i wygrzewanie płytek z szafirem, GaN, SiC

• Epitaxy i wsparcie obróbki cieplnej w wysokiej temperaturze

Metallurgia proszkowa i sintering

• Ceramika, materiały magnetyczne i spiekanie proszku metalowego

• Pozostałe maszyny i urządzenia do przenoszenia energii

Bateria litowa i zaawansowane materiały

• Kalcynacja proszkowa, fosforanowanie, powłoka wysokotemperaturowa

• Urządzenia wspierające materiały o zaawansowanej energii

Główne piece przemysłowe

• Pieczenie w wysokiej temperaturze, obróbka cieplna, cykle termiczne

Zalety płytek ceramicznych SiC

W porównaniu z tradycyjnymi taczkami z grafitu, aluminium lub metalu taczki ceramiczne SiC oferują znaczące korzyści:

• Dłuższa żywotnośćw wielokrotnych cyklach wysokiej temperatury

• Mniejsze zanieczyszczenie, zapewnienie stabilnej jakości procesu

• Wyższa wytrzymałość mechanicznado odporności na deformacje

• Jednolite przewodzenie cieplnew celu poprawy spójności produktu

• Wzór dostosowany, włączając szczeliny, otwory, rowki i skomplikowane geometrie

• Kompatybilne z pomieszczeniami czystymi i próżniowymi

Dostępne specyfikacje

Oferujemy standardowe i specjalnie zaprojektowane tacki, w tym:

• Płaskie tacki, tacy porowaty, tacy siatkowe

• Wymiary:Powszechnie stosowane rozmiary obejmują 100 ‰ 500 mm; dostosowywane

• Gęstość:3×20 mm lub na żądanie klienta

• Opcje materiału:RBSiC, SSiC, CVD-SiC

• Wykończenie powierzchni:Polerowanie, powłoka CVD, rozszczepianie, oznakowanie laserowe

Usługi OEM/ODM na zamówienie są obsługiwane dla specjalnych modeli pieców, systemów automatycznych lub określonych linii produkcyjnych.

Częste pytania

P1: Jaka jest różnica między taczkami RBSiC a SSiC?

RBSiC zapewnia doskonałą wytrzymałość mechaniczną przy niższych kosztach, podczas gdy SSiC zapewnia wyższą czystość, lepszą odporność na korozję i jest idealny dla środowisk półprzewodnikowych.

P2: Czy tacy SiC są odporni na szybkie cykle termiczne?

SiC ma wyjątkową odporność na wstrząsy cieplne, co czyni go odpowiednim do szybkiego ogrzewania i chłodzenia.

P3: Czy kształt tacki można dostosować?

Możemy produkować tacki o złożonych geometriach, w tym rowki, otwory, krawędzie i wielowarstwowe struktury.

P4: Czy SiC zanieczyszcza produkty podczas pracy w wysokich temperaturach?

SiC jest chemicznie stabilny, odporny na utlenianie i ma niskie wydzielanie gazów, co zapewnia niskie zanieczyszczenie.

P5: Czy tacy SiC wymagają określonej metody czyszczenia?

Czyszczenie zależy od klasy materiału: SSiC i CVD-SiC umożliwiają czyszczenie kwasowo-bazowe; RBSiC wymaga łagodniejszych metod, aby uniknąć zmiany powierzchni.

Produkty pokrewne

6-calowa tablica z silikonowym węglem SiC pokryta grafitem, odporna na wysokie temperatury

Karbyd krzemowy ceramiczny czubek do szafiru SiC Si GAAs Wafer

O nas

ZMSH specjalizuje się w rozwoju, produkcji i sprzedaży specjalnego szkła optycznego i nowych materiałów krystalicznych.Oferujemy komponenty optyczne SapphireZ doświadczeniem i najnowocześniejszym sprzętem, doskonale wykonujemy niestandardowe przetwarzanie produktów.,dążąc do bycia wiodącym przedsiębiorstwem optoelektronicznym w dziedzinie wysokich technologii.