1. Przegląd

Ta precyzyjna, strukturowana radialnie tablica przenośnikowa jest zaawansowanym elementem przemysłowym zaprojektowanym do zastosowań wymagających wyjątkowej wytrzymałości mechanicznej, stabilności termicznej,i precyzja wymiarowaWykorzystując połączenie wielo-strefowych pierścieniowych otworów i wzmocnioną sieć żeber podtrzymujących radialnie,tablica jest zaprojektowana w celu zapewnienia wyższej wydajności w złożonych i wymagających środowiskach produkcjiPrzemysły takie jak produkcja półprzewodników, epitaxia LED, zaawansowane sinterujące ceramiki i przetwarzanie próżniowe w wysokiej temperaturze opierają się na tym rodzaju tacze w celu zapewnienia niezawodności, spójności, stabilności i stabilności.i wysokiej przepustowości.

Geometria tacy jest zoptymalizowana w celu równomiernego rozkładu obciążeń mechanicznych, utrzymania sztywności konstrukcyjnej w warunkach wysokiego naprężenia,i poprawić jednolitość termiczną podczas operacji obejmujących szybkie ogrzewanie i chłodzenieW połączeniu z materiałami ceramicznymi lub metalowymi o wysokiej czystości i wytrzymałymi procesami obróbkowymi, produkt ten stanowi nową generację urządzeń przemysłowych przeznaczonych do precyzyjnej produkcji.

2Cechy strukturalne i projektowanie funkcjonalne

2.1 Wielo-strefowa ramka pierścieniowa

Pojemnik zawiera kilka warstw dobrze rozmieszczonych pierścieniowych gniazd.

• Zmniejszenie masy ciała:Mniejsza masa zmniejsza bezwładność podczas obrotu i poprawia ogólną wydajność pracy.

• Optymalizacja przepływu ciepła:Słupki zwiększają efektywny obszar rozpraszania ciepła, umożliwiając jednolite rozkład temperatury na całej powierzchni.

• Projektowanie łagodzenia stresu:Segmentowany wzór minimalizuje koncentrację naprężeń termicznych i mechanicznych, zmniejszając ryzyko pęknięcia lub wypaczenia.

Architektura wielo-strefowa jest szczególnie wartościowa w procesach spiekania wysokotemperaturowego i półprzewodnikowego, w których gradienty termiczne muszą być precyzyjnie kontrolowane.

2.2 Wzmocniona sieć żeber promieniowych

Żeberki radialne tworzą połączoną strukturalną ramę, która znacznie zwiększa wytrzymałość mechaniczną.

• Wsparcie ciężkich ładunków bez deformacji

• Poprawa stabilności obrotowej przy montażu na wrzutowcach

• Odporność na gięcie lub odchylenie podczas cykli ogrzewania i chłodzenia

• Utrzymanie długoterminowej dokładności wymiarowej

Połączenie konstrukcji pierścieniowych i promieniowych daje wysoce zrównoważony projekt zdolny do utrzymania integralności w intensywnych środowiskach przemysłowych.

2.3 Wysokoprzyzwoite obrobione powierzchnie

Powierzchnia tacy jest wytwarzana przy użyciu zaawansowanych procesów obróbki CNC i kondycjonowania powierzchni.

• Wysoka płaskość

• Dokładna jednolitość grubości

• Gładkie punkty kontaktowe do ładowania

• Zmniejszone tarcie podłoża lub elementów

• Konsekwentna kompatybilność z sprzętem zautomatyzowanym

Takie precyzyjne obróbki są kluczowe dla zastosowań półprzewodnikowych i optycznych, gdzie nawet niewielkie odchyleń może prowadzić do wad lub utraty wydajności.

2.4 Centralne interfejsy montażowe

W centrum tacy znajduje się wyspecjalizowany interfejs montażowy składający się z wielu precyzyjnie wierconych otworów.

• Bezpieczna instalacja na wałach obrotowych

• Wyrównanie z urządzeniami pieca lub komory próżniowej

• Stabilne pozycjonowanie dla zautomatyzowanych systemów obsługi

• Integracja z narzędziami inżynieryjnymi na zamówienie

Zapewnia to łatwe dopasowanie tacy do różnych przepływów pracy przemysłowych i modeli urządzeń.

2.5 Wzmocnienie konstrukcyjne na pierścieniu zewnętrznym

Pierścień zewnętrzny obejmuje segmentowane podkładki wzmocnienia, które wzmacniają krawędź i utrzymują równowagę rotacyjną.

• Odporność drgań

• Stabilność obciążenia obwodowego

• Trwałość w przypadku powtarzających się uderzeń mechanicznych

Wraz z wewnętrznym układem żebrowym pierścień zewnętrzny tworzy sztywny i stabilny nośnik odpowiedni do długiej żywotności.

3Opcje materiałów do różnych zastosowań

Talik może być wytwarzany z wielu materiałów o wysokiej wydajności w zależności od wymagań zastosowania:

3.1 Węglik krzemowy spiekany (SSiC)

• Ultra niska porowatość

• Wysoka przewodność cieplna

• Doskonała odporność na korozję

• Idealny do ultraczystego środowiska półprzewodnikowego i próżniowego

3.2 Węglik krzemowy związany reakcją (RBSiC)

• Doskonała odporność na wstrząsy cieplne

• Dobra wytrzymałość mechaniczna

• Efektywność kosztowa w przypadku masowej produkcji

• Odpowiednie do pieców spiekujących i produkcji diod LED

3.3 Ceramika aluminowa

• Stabilny do 1600°C

• Przystępne cenowo i wszechstronne

• Wyposażone w urządzenia do obróbki materiałów ceramicznych

3.4 Metale o wysokiej wytrzymałości (aluminium / stal nierdzewna)

• Dobry mechanizm obróbki

• Odpowiednie do urządzeń mechanicznych, automatyzacji i obsługi

• Idealny do procesów nietermicznych lub średnich temperatur

Każdy materiał jest wybierany tak, aby zapewnić maksymalną wydajność w określonych warunkach środowiskowych.

4Główne zastosowania przemysłowe

4.1 Produkcja półprzewodników

• Tablica nośna dla systemów CVD i PECVD

• Platforma wspierająca procesy utleniania i dyfuzji

• Utrzymujący urządzenie do grzania i szybkiego obróbki termicznej (RTP)

• Obróbka płytek i automatyczne narzędzia do przenoszenia

4.2 Produkcja LED i optoelektroniki

• Tacy do ładowania płytek safirowych i SiC

• Nośnik przetwarzania podłoża w wysokiej temperaturze

• Podstawowa platforma epitaksjalna wymagająca stabilnych profili termicznych

4.3 Zaawansowane przetwarzanie materiałów

• Metallurgia proszkowa i spiekanie

• Gotowanie podłoża ceramicznego

• Płyty do wysokociepłowych pieców próżniowych

4.4 Maszyny automatyczne i precyzyjne

• Płytka obrotowa

• Płytka bazowa wyrównania

• Interfejs montażu urządzenia

• Zautomatyzowany przewoźnik obsługi

Jego wszechstronność sprawia, że nadaje się do zastosowań zarówno w środowiskach inżynieryjnych termicznych, jak i mechanicznych.

5Główne zalety

5.1 Wydajność cieplna

• Jednolite rozkładanie ciepła minimalizuje gorące punkty

• Odpowiednie do szybkiego cyklu termicznego

• Idealne do precyzyjnych operacji w wysokich temperaturach

5.2 Trwałość konstrukcyjna

• Doskonała odporność na obciążenia mechaniczne

• Przeciwdziałanie deformacji w warunkach zmiany obciążenia i temperatury

• Długie okresy eksploatacji skracają cykle konserwacji

5.3 Stabilność procesu

• Niskie ryzyko zanieczyszczenia przy użyciu SiC lub ceramiki

• Konsekwentna dokładność wymiarowa zapewnia wysoki wydajność produktu

• Kompatybilne z warunkami próżniowymi, obojętnymi lub atmosferycznymi

5.4 Dostosowalność

• Wymiary, grubość i geometria szczelin można dostosować

• Dostępne różne materiały

• Interfejs centralnego montażu można dostosować

• Oferowane opcje wykończenia powierzchni i oznakowania

Częste pytania

1Co to jest tablica ceramiczna SiC?

Taczka ceramiczna SiC jest precyzyjnym nośnikiem wykonanym z węglanu krzemu o wysokiej czystości, zaprojektowanym do podtrzymania, ładowania i transportu płytek lub podłoża podczas półprzewodników, diod LED, optycznych,i produkcja próżniowaOferuje wyjątkową stabilność termiczną, wytrzymałość mechaniczną i odporność na deformacje w trudnych warunkach, takich jak wysoka temperatura, plazma i procesy chemiczne.

2Jakie są zalety stosowania taczek SiC w porównaniu z taczkami z kwarcu, grafitu lub aluminium?

Płytki SiC zapewniają kilka lepszych korzyści:

• Odporność na wysokie temperaturydo temperatury do 1600 ∼ 1800 °C bez deformacji

• Doskonała przewodność cieplna, zapewniające jednolite rozkład ciepła

• Wyjątkowa wytrzymałość mechaniczna i sztywność

• Niska ekspansja termiczna, zapobieganie wypaczeniu podczas cyklu termicznego

• Wysoka odporność na korozjędo gazów plazmowych i chemikaliów

• Dłuższa żywotnośćw warunkach ciągłego wytwarzania wysokiego naprężenia

3. Do jakich zastosowań wykorzystywane są główne tacy ceramiczne SiC?

Taśmy SiC są szeroko stosowane w:

• Obróbka płyt półprzewodnikowych

• LPCVD, PECVD, MOCVD przetwarzanie termiczne

• Procesy grzania, dyfuzji, utleniania i epitaxy

• Załadowanie płytki safirowej/substratu optycznego

• Środowiska o wysokiej próżni i wysokiej temperaturze

• Precyzyjne platformy CMP lub urządzenia do polerowania

• Fotonika i zaawansowane urządzenia opakowaniowe

4Czy tacki SiC wytrzymają wstrząsy termiczne?

Tak, ceramika SiC oferuje doskonałą odporność na wstrząsy cieplne ze względu na niską CTE i wysoką wytrzymałość na złamania.co sprawia, że jest idealny do procesów cyklu wysokiej temperatury.

Produkty pokrewne

6-calowa tablica z silikonowym węglem SiC pokryta grafitem, odporna na wysokie temperatury

Karbyd krzemowy ceramiczny czubek do szafiru SiC Si GAAs Wafer

O nas

ZMSH specjalizuje się w rozwoju, produkcji i sprzedaży specjalnego szkła optycznego i nowych materiałów krystalicznych.Oferujemy komponenty optyczne SapphireZ doświadczeniem i najnowocześniejszym sprzętem, doskonale wykonujemy niestandardowe przetwarzanie produktów.,dążąc do bycia wiodącym przedsiębiorstwem optoelektronicznym w dziedzinie wysokich technologii.