Przegląd produktu

Pierścienie ceramiczne z węglem krzemowym to precyzyjnie skonstruowane elementy wykonane z ceramiki z węglem krzemu o wysokiej czystości.doskonała odporność na korozję, wysokiej wytrzymałości mechanicznej i wyższej odporności na zużycie, pierścienie ceramiczne SiC są szeroko stosowane w sprzęcie do produkcji półprzewodników, systemach próżniowych, piecach o wysokiej temperaturze,i zastosowań przemysłowych precyzyjnych.

Poprzez zaawansowane procesy formowania, spiekania i precyzyjnego obróbki, te komponenty mogą osiągnąć ciasne tolerancje wymiarowe, złożone geometrie,i doskonałe wykończenia powierzchniowe w celu spełnienia wymagających wymagań przemysłowych.

Kluczowe cechy

1Doskonała wydajność w wysokich temperaturach

• Wytrzyma w środowiskach o wysokiej temperaturze do1600°C+w zależności od klasy materiału i warunków zastosowania
• Utrzymuje wytrzymałość mechaniczną i stabilność wymiarową w podwyższonych temperaturach
• Idealny do obróbki termicznej, epitaksii, dyfuzji i zastosowań w piecach o wysokiej temperaturze

2Wysoka czystość i niskie zanieczyszczenie

• Wytwarzane z materiałów o wysokiej czystości węglanu krzemu
• Niski poziom wytwarzania cząstek i minimalne zanieczyszczenie metali
• Odpowiednie dla środowisk czystych półprzewodników i zastosowań przetwarzania płytek

3Wyjątkowa odporność na korozję

• Doskonała odporność na kwasy, zasadowości i środowiska plazmowe
• Stabilne działanie wobec agresywnych gazów procesowych, takich jak:Cl2, HCl i NF3
• Odpowiednie do etsu półprzewodnikowego, urządzeń CVD i PVD

4Wysoka wytrzymałość mechaniczna i odporność na zużycie

• Twardość Mohsa około9
• Doskonała odporność na ścieranie dla długiej żywotności
• Odpowiednie do precyzyjnych konstrukcji nośnych i komponentów mechanicznych

5. Dokładna zdolność obróbki

Dostępne procesy obróbki obejmują:

• Pozostałe urządzenia do obróbki metalowej
• Szlifowanie precyzyjne i polerowanie
• Ścisła kontrola tolerancji wymiarowych i geometrycznych
• Złożone struktury na zamówienie

Specyfikacja produktu

Wnioski

Sprzęt do produkcji półprzewodników

• Zęby podtrzymujące płytki
• Komponenty komory półprzewodnikowej
• Części urządzeń CVD / PECVD
• Składniki pieca do wzrostu epitaksyjnego
• Komponenty RTP (szybkie przetwarzanie termiczne)
• Systemy obsługi i wsparcia płytek

Przemysł fotowoltaiczny

• Komponenty pieców wysokotemperaturowych
• Urządzenia do obróbki cieplnej
• Części podtrzymujące płytki krzemowe

Systemy próżniowe i wysokotemperaturowe

• Składniki pieców próżniowych
• Wsparcie systemu grzewczego
• Struktury izolacyjne

Precyzyjne zastosowania przemysłowe

• O masie przekraczającej 50 g/m2
• Składniki pomp
• Komponenty pozycjonowania i wsparcia

Często zadawane pytania Silicon Carbide Ceramic Ring (SiC Ceramic Ring)

P1: Czym jest pierścień ceramiczny z węglanu krzemowego?

A:Pierścień ceramiczny z węglem krzemowym to precyzyjny element ceramiczny wytwarzany z węglem krzemu o wysokiej czystości (SiC).wytrzymałość mechaniczna, i odporność na zużycie, co sprawia, że nadaje się do sprzętu półprzewodnikowego, systemów próżniowych i zastosowań o wysokiej temperaturze.

P2: Jakie są główne zalety pierścieni ceramicznych SiC?

A:Pierścienie ceramiczne SiC mają kilka zalet:

• Doskonała stabilność w wysokich temperaturach (do 1600°C+ w zależności od klasy materiału)
• Wyższa odporność na korozję plazmową i chemiczną
• Wysoka twardość i odporność na zużycie
• Niska rozszerzalność termiczna i doskonała stabilność wymiarowa
• Niska produkcja cząstek w zastosowaniach półprzewodnikowych

P3: W jakich gałęziach przemysłu stosowane są pierścienie ceramiczne z węglanu krzemowego?

A:Pierścienie ceramiczne SiC są szeroko stosowane w:

• Urządzenia do produkcji półprzewodników
• Systemy CVD, PECVD i PVD
• Sprzęt do obróbki i obróbki płytek
• Układy wzrostu na wierzchołku
• Płyty próżniowe
• Urządzenia przemysłowe o wysokiej temperaturze
• Urządzenia do produkcji energii fotowoltaicznej