TGV Substrat szklany powłoka przez otwór opakowania półprzewodnikowe JGS1 JGS2

Przegląd produktu

 
Technologia TGV (Through Glass Via), znana również jako technologia szklanych otworów, jest techniką pionowego połączenia elektrycznego, która przenika podłoże szkła.Umożliwia pionowe połączenia elektryczne na podłogach szklanych, osiągając połączenia między układami o wysokiej gęstości, a także między układami i podłożami.TGV służy temu samemu celowi w podłogach na bazie szkła.
Substraty szklane stanowią nową generację materiałów do tworzenia chipów, których podstawowym elementem jest szkło.Łańcuch przemysłu substratów szklanych obejmuje produkcję, surowców, sprzętu, technologii, opakowań, badań i zastosowań, z segmentami poprzedzającymi produkcję koncentrującymi się na produkcji, materiałach i sprzęcie.
 

Zalety

• Wyższa wydajność elektryczna wysokiej częstotliwości
• Łatwość uzyskiwania wielkoskalowych podłoża szklanych ultracienkiego rozmiaru
• Efektywność kosztowa
• Uproszczony przepływ procesów
• Silna stabilność mechaniczna
• Szeroki potencjał zastosowań

 
Zasady techniczne


a) Przygotowanie płytek szklanych
b) Formularz TGV (Through Glass Vias)
c) Depozycja warstwy bariery PVD i warstwy nasion, wykonywanie podwójnej galwanizacji po stronie do osadzenia miedzi
d) Grzebanie i CMP (Chemical Mechanical Polishing) w celu usunięcia warstwy miedzi powierzchniowej
e) powłoka PVD i fotolitografia
(f) RDL wytworzone (warstwa redystrybucji)
(g) Wyrzucić fotorezyst i wykonać etykietę Cu/Ti
h) Warstwa pasywacyjna formy (warstwa dielektryczna)
 
Szczegółowe kroki:
 
Proces wytwarzania TGV (Through Glass Via) rozpoczyna się od inspekcji materiału przychodzącego, a następnie poprzez formowanie metodami, w tym piaszczeniem, wiertaniem ultradźwiękowym, na mokro,głęboko reaktywne etywanie jonowe (DRIE), fotoreakcyjne grafowanie, grafowanie laserowe, głębokie grafowanie indukowane laserowo i koncentrowane wiercenie wyładowania, następnie przechodzące inspekcję i czyszczenie.
 
Via Through Glass (TGV) są wytwarzane przy użyciu technologii etsu plazmowego.

 
Po utworzeniu otworu konieczne jest sprawdzenie otworu, takie jak szybkość otworu, materiały obce, wady paneli itp.
 

1. Za pośrednictwem Integrity okrągłość (kontrola ≥95%); tolerancja średnicy (± 5 μm).

2. Materiał obcy w przewodzie ️ Sprawdź ciągłość i wykryj pozostałości (szklane pozostałości, włókna węglowe, kleje, pył).

3. Wady paneli ️ Pęknięcia, wady grawerowania (groby), zanieczyszczenia, zadrapania.

 
Znowu galwanizacja od dołu do góry zapewnia płynne wypełnienie TGV;

 
Wreszcie, czasowe wiązanie, szlifowanie z tyłu, polerowanie mechaniczne chemiczne (CMP) w celu ujawnienia miedzi, odwiązywanie wiązania i tworzenie szkła poprzez technologię procesu (TGV).W trakcie procesu, procesy półprzewodnikowe, takie jak czyszczenie i testowanie, są również wymagane.
 
a) Wykopywanie LIDE
(b) Wypełnienie elektrolizowane
c) CMP
d) Formowanie RDL z przodu
e) Warstwa poliamid
f) Bumping
g) W tymczasowym powiązaniu
h) Szlifowanie tylne i formowanie RDL
(i) płytki nośne odwiązane
 
 

Wnioski
Komunikacja o wysokiej częstotliwości (5G/6G chip packaging)
Chipy obliczeniowe o wysokiej wydajności i sztucznej inteligencji
Autonomiczne moduły LiDAR, radar samochodowy, jednostki sterujące pojazdami.
Urządzenia wszczepialne (np. sondy neuronowe), biochipsy o wysokiej wydajności.

Pytania i odpowiedzi
P1:Czym jest szkło TGV?
A1:Szkło TGV: podłoże szklane z pionowymi przewodnikami przewodzącymi do połączeń chipowych o wysokiej gęstości, nadające się do opakowań o wysokiej częstotliwości i 3D.
 
P2:Jaka jest różnica między podłożem szklanym a podłożem krzemowym?
A2:

• Materiały: Szkło jest izolatorem (niska strata dielektryczna), krzemowy jest półprzewodnikiem.
• Wydajność wysokiej częstotliwości: Strata sygnału ze szkła jest 10-100 razy mniejsza niż w przypadku krzemu.
• Koszty: Koszt szklanego podłoża wynosi około 1/8 kwoty krzemu.
• TGV (Through Glass Via): metalizowany kanał pionowy utworzony na podłożu szklanym, bez konieczności dodatkowej warstwy izolacyjnej i prostszy proces niż przez krzemowy (TSV).

 
P3: Dlaczego wybierać podłoże szklane?
A3:

• Wyższa częstotliwość:Niski Dk/Df minimalizuje zniekształcenia sygnału w pasmach 5G/6G mmWave (24-300 GHz).
• Efektywność kosztowa:Praca na dużych panelech (np. panele szklane gen 8.5) obniża koszty o 70% w porównaniu z płytkami krzemowymi.
• Stabilność termiczna i mechaniczna:Blisko zerowe wygięcie nawet przy ultracienkiej (< 100 μm) grubości.
• Przejrzystość optyczna: umożliwia hybrydową integrację elektryczną/optyczną (np. LiDAR, wyświetlacze AR).
• Skalowalność:Wspiera opakowania na poziomie paneli (PLP) do masowej produkcji zaawansowanych układów integracyjnych 3D.

 
Produkty pokrewne