Przegląd produktu

Substrat powlekany szafirem ITO jest materiałem o wysokiej wydajności składającym się zpłytka z jednokrystalicznego szafiru (Al2O3) powlekana przezroczystą przewodzącą cienką foliją tlenku cyny indyjnego (ITO).

Połączenie to obejmuje:

• W sprawiewyjątkowa wytrzymałość mechaniczna i stabilność termiczna szafiru
• W sprawiedoskonała przewodność elektryczna i przejrzystość optyczna ITO

W porównaniu z konwencjonalnymi podłożami ITO na bazie szkła, rozwiązania na bazie szafiru zapewniająwyższa trwałość, szerszy zakres transmisji optycznej i lepsza wydajność w trudnych warunkach, co czyni je idealnymi do zaawansowanych zastosowań optoelektronicznych.

Struktura i zasada działania

ITO (indium tin oxide) jestprzezroczysty tlenek przewodzący (TCO)który umożliwia zarówno przewodzenie elektryczne, jak i przenoszenie światła.

Warstwa ITO jest zazwyczaj osadzana na powierzchni szafiru przy użyciu:

• Wykorzystanie magnetronowe
• Wyparzenie wiązki elektronów
• Depozycja laserowa impulsowa (PLD)

Zasada działania:

• Powłoka ITO tworzycienka warstwa przewodząca
• Sapphire działa jakoo szerokości nieprzekraczającej 10 mm,
• Wspólnie funkcjonują jakoprzezroczysty materiał elektrody

Kluczowe cechy

• Wysoka przepuszczalność optyczna:≥ 85% (zakres widoczny)
• Niska odporność arkusza:5 ‰ 100 Ω/□
• Doskonała stabilność termiczna:odpowiedni do procesów wysokotemperaturowych
• Wyjątkowa twardość:Mohs 9 (odporny na zadrapania)
• szeroka transmisja widmowa:UV do IR
• Silna przyczepność i trwałość powłoki

Wnioski

Substraty powlekane szafirem ITO są szeroko stosowane w:

• LED na bazie GaN (przezroczyste elektrody)
• Pozostałe urządzenia do wykrywania promieniowania
• Systemy laserowe i okna optyczne
• Urządzenia optoelektroniczne o wysokiej temperaturze
• MEMS i urządzenia mikroelektroniczne
• Specjalistyczne elementy przewodzące przezroczyste

Typowe specyfikacje

Proces produkcji

1. Polerowanie i czyszczenie substratów szafirowych
2. Depozycja w próżni cienkich folii ITO
3. Zgrzewanie termiczne (w celu optymalizacji przewodności i przejrzystości)
4. Opcjonalna fotolitografia i wzory
5. Ostateczna kontrola i pakowanie

Częste pytania

P1: Jaka jest zaleta szafiru w stosunku do szkła do powlekania ITO?
Odpowiedź: Sapphire oferuje znacznie wyższą twardość, lepszą odporność cieplną i szerszy zakres transmisji optycznej, co sprawia, że nadaje się do wymagających środowisk.

P2: W jaki sposób grubość ITO wpływa na wydajność?
A:

• Większa grubość ITO → mniejsza odporność, ale zmniejszona przejrzystość
• Cienkie ITO → większa przejrzystość, ale większa odporność

P3: Czy można wytwarzać elektrody wzorowane?
O: Tak, można uzyskać niestandardowe wzory za pomocą procesów fotolitografii i etsu.

P4: Czy dostępna jest powłoka dwustronna?
O: Tak, zarówno pojedyncze, jak i podwójne powłoki ITO mogą być dostarczane w zależności od wymagań aplikacji.